陈尘的话让饭桌上的人都沉思起来,这里面有生产光刻机能力的就是魔都微电,只不过制程起码要落后西方三代。
迄今为止连40纳米都没有突破。
至于华芯国际,他们也是靠订购阿斯麦尔的光刻机进行芯片生产的,晶圆生产上面省出来一大笔钱,蔡永芯上个月就已经联系了阿斯麦尔,要订购两台28纳米的光刻机。
至于其他的企业,不需要太先进制程的,会选用魔都微电的光刻机,或者直接去买人家换代下来的二手光刻机。
“陈总,目前我们自主研发的45纳米光刻机,已经解决了掩膜版技术,光刻技术和蚀刻技术,唯有光源和镜片方面迟迟得不到突破。”
“我们的蚀刻机技术也打破了西方的垄断,处于国际主流水平。”魔都微电的徐丛说道。
这些发展对于在座的几家公司老总来说,都是透明的,他们也没少订购魔都微电的光刻机,所以这不是什么保密的进度。
魔都微电的90纳米光刻机技术相对成熟以后,自然是要开始45纳米的研发。
陈尘点了点头,瞬间大喜,看来自己还是小觑了国家对半导体产业的投入以及技术了。
这不是保密的东西,自己也是刚刚知道,人家魔都微电的90纳米已经外售,45纳米也完成了大部分。(这里是提速架空,实际上魔都微电的90纳米光刻机是16年才实现量产,是步进扫描投影光刻机,分辨率能做到90nm。)
至于光源问题?
我?刚好有小爱给的光源技术啊!
“也就是说我们现在首先需要解决的就是稳定的光源。”
“目前有方案吗?”
“唉。”
说到这个,徐丛先是叹了一口气,又把酒杯里的酒一饮而尽,才悠悠的说道:“陈总,你也知道,我们魔都微电背后是有国资支撑的,钱我们不怎么缺。”
“但是再多的钱也没办法解决技术上的问题,我们的研发团队一直在和那些技术供应商进行沟通,想试图解决光源问题。”
“中科院那边给出了一个准分子激光光源,这个系统只能说还能用,但是对我们45纳米的项目却没有任何作用。”
对于光源,陈尘多少还是了解一点的,那就是duv和euv光刻机的区别。